平板直線電機

行程從5mm到 150mm都有。另有更長行程到350mm，多極系列致動器供選擇。大部分的型號標準的分辨率是5μm另有1μm、0.5μm以及 0.1μm供選擇。

      技術特點

      1、位置、速度以及力量都可程序

      2、有軟著陸功能可精準地控制力量

      3、高循環

      4、無需氣體且安靜的運行

      5、有彈簧以及真空供選擇

            選型手冊

          可選形式 

       1、編編碼器分辨率： 標準為5μm，另有1μgm以及0.1μm供選擇。

      2、軸的形式：外牙軸、內牙軸、無牙軸以及客制化軸。

      3、彈簧回復： 避免軸在垂直運行中斷電時掉下。

      4、真空： 針對取放運動應用。

           產品尺寸